Серия FF / FFD
Турбомолекулярная и молекулярно-вязкостная ступени в одном насосе. Четыре группы типоразмеров, варианты установки FF и FFD.
Сравнить FF и FFD →Вакуумная техника · Yuchi Vacuum
Турбомолекулярные насосы Yuchi Vacuum
Насосы FF/FFD и MDP с механическими подшипниками, серия YCTM с магнитным подвесом — для высоковакуумных технологических и исследовательских установок.
Подбираем серию и исполнение по газовой нагрузке, рабочему давлению, фланцу камеры и условиям эксплуатации. Вместе с насосом рассматриваем контроллер, форвакуумную ступень, охлаждение и управление.
FF / FFDЧетыре группы типоразмеров с разными фланцами и монтажными требованиями
MDP / MDP D600, 1200 и 1800 л/с · варианты со смазкой и безмасляные исполнения
YCTMМагнитный подвес · 2200–4500 л/с по N₂ у представленных моделей
От серии к исполнению
Три серии для разных условий откачки
Начните с рабочего процесса и требований к чистоте, затем сравните скорость откачки для нужного газа, способ установки и параметры подключения.
Серия MDP
Интегральный ротор и ступень Холвека. Три номинальные скорости: 600, 1200 и 1800 л/с; стандартные и D-исполнения.
Сравнить модели MDP →Серия YCTM
Магнитный подвес по пяти степеням свободы. Скорости по N₂ и H₂, входные фланцы и рабочие подключения для пяти исполнений.
Сравнить модели YCTM →Что учесть при выборе серии
Номинальная скорость откачки — один из исходных параметров. На результат в камере также влияют состав газа, проводимость соединения, газовыделение и давление на выпуске.
На узком экране таблица прокручивается по горизонтали. С клавиатуры: перейдите в таблицу клавишей Tab и используйте стрелки.
| Серия | Конструкция | Монтаж и смазка | Что проверить при подборе |
|---|---|---|---|
| FF / FFD | Механические подшипники; турбомолекулярная и молекулярно-вязкостная ступени | Стандартные FF и исполнения FFD с установкой под любым углом | Типоразмер, фланец, исполнение, рабочий газ и форвакуумная ступень |
| MDP | Интегральный ротор и ступень Холвека | MDP: вертикально, 150 мл смазки; MDP D: безмасляное исполнение, любой угол | Скорость 600 / 1200 / 1800 л/с, уплотнение, охлаждение и режим газа |
| YCTM | Активный магнитный подвес по пяти степеням свободы | У перечисленных моделей — любой угол; жидкостное охлаждение | Отдельные скорости по N₂ и H₂, контроллер, продувка, опции покрытия и TMS |
Определить газовую нагрузку
Укажите состав среды, расход, рабочее и требуемое предельное давление, длительность цикла и режим подачи газа.
Проверить механику и охлаждение
Сопоставьте фланцы, положение насоса, габариты, способ крепления и доступные параметры охлаждающей воды.
Согласовать комплект
Проверьте совместимость насоса, контроллера и кабелей, форнасос, клапаны, вакуумметрию и блокировки установки.
Yuchi Vacuum · Китай
Разработка и производство молекулярных насосов
Yuchi Vacuum специализируется на разработке, производстве и применении турбомолекулярных насосов с магнитным подвесом и механическими подшипниками. Компания развивает собственные технологии получения высокого и сверхвысокого вакуума.
В состав группы входит Beijing Sihaixiangyun Fluid Technology Co., Ltd., выпускающая насосы с механическими подшипниками. Производитель сообщает о привлечении инвестиций Datang Telecom, CR Micro, Yangtze River Innovation и Loongson.
Оборудование предназначено для вакуумного нанесения покрытий, полупроводниковых процессов, производства дисплеев и фотоэлектрических элементов, научных установок и разработки новых материалов.
Насос в составе вакуумной системы
Турбомолекулярный насос работает совместно с форвакуумной ступенью. Для стабильного процесса согласуют весь тракт — от камеры до выпуска.
Откачной тракт
- Фланец камеры, переходники и длина высоковакуумного соединения.
- Форвакуумный насос с подходящей характеристикой и допустимым составом газа.
- Запорные и напускные клапаны, вакуумметры и контроль давления.
- Охлаждение, продувка и температурное управление для выбранного исполнения.
Электропривод и управление
- Совместимые контроллер, кабель и питание.
- Последовательность запуска, выхода на режим и остановки.
- Блокировки по давлению, охлаждению и состоянию насоса.
- Обмен сигналами с автоматикой установки и безопасный напуск газа.
При замене установленного насоса передайте фото шильдика и контроллера, чертёж присоединения и описание процесса. Совпадение номинальной скорости не подтверждает взаимозаменяемость.
Где применяются насосы Yuchi Vacuum
Нанесение покрытий
Вакуумные камеры оптических и функциональных покрытий. При подборе учитывают технологический газ, цикличность процесса и защиту от продуктов осаждения.
Полупроводники и дисплеи
Высоковакуумные технологические узлы. Исполнение насоса выбирают по химической совместимости, газовому потоку и режиму температурного управления.
Научные установки
Исследовательские камеры и приборы. Проверяют предельное давление системы, вибрационные требования, состав остаточного газа и условия измерений.
Вопросы о подборе Yuchi Vacuum
С чего начать выбор серии Yuchi Vacuum?
Начните с газов и режима процесса, требуемого давления и механического присоединения. Затем сравните насосы по скорости для рабочего газа, степени сжатия, условиям форвакуума и охлаждению. Для окончательного выбора нужен согласованный комплект насоса и контроллера.
Чем отличается YCTM от FF и MDP?
YCTM использует активный магнитный подвес ротора. FF/FFD и MDP относятся к насосам с механическими подшипниками. Требования к смазке и ориентации внутри механических серий зависят от исполнения; их проверяют по таблице выбранной модели.
Нужен ли форвакуумный насос?
Да. Турбомолекулярная ступень работает совместно с форнасосом. Его выбирают по газовой нагрузке, давлению на выпуске, химической совместимости и требованиям к чистоте; также учитывают сопротивление форвакуумной линии.
Можно ли заменить насос на модель с такой же скоростью?
Для замены дополнительно сверяют рабочий газ, фланец, габариты, ориентацию, контроллер, кабели, охлаждение и блокировки. Одинаковая номинальная скорость не подтверждает взаимозаменяемость.
Как получить цену и состав поставки?
Передайте техническое задание или данные установленного насоса. В коммерческом предложении согласуют точное исполнение, контроллер и кабели, дополнительное оборудование, документацию и условия поставки.
Подбор и интеграция оборудования
Подбор по техническому заданию
Подобрать насос Yuchi Vacuum
Пришлите состав и расход газа, рабочее давление, фланец камеры и режим эксплуатации. Для замены приложите обозначения насоса и контроллера. Обсудим серию, комплект подключения и коммерческое предложение.
Актуальные предложения и ключевые направления
